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氣體流量計HFM-200 LFE

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氣體流量計HFM-200 LFE

HFM-200 LFE氣體流量計
范圍（用戶可選）0 - 10 sccm to 0 - 15,000 slm (N2)
精度+ 1.0% of    full scale
重復(fù)性+ 0.05% of    full scale
最大工作壓力對于法蘭型層流元件：150 PSIG
     對于螺紋型或光桿型層流元件：500 PSIG
     對于傳感器部分：500 PSIG
模擬量輸入/輸出 (標(biāo)準(zhǔn))0 - 5 VDC
模擬量輸入/輸出 (可選)4 - 20 mA, 0 - 20 mA
接口選項，傳感器：
     接口選項， LFE：		1/4" Elbow
     光桿，螺紋，法蘭（取決于流速）
彈性密封選項Viton?, Kalrez, Buna-N, Neoprene
電氣連接 (+/- 15 VDC)
     電氣連接 (+24 VDC)		D型15針
     D型9針
電源(+/- 15 V)
     
     電源(+24 V)		+ (14 -    16) VDC @ +30 mA (<1 W)
     (14 - 32) VDC (<1.9 W)
濕液材質(zhì)316SS, Viton?, 87/13 Au/Ni Braze