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氣體流量計/控制器HFM-300/HFC-302

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氣體流量計/控制器HFM-300/HFC-302


HFM-300氣體流量計HFC-302氣體流量控制器
范圍（用戶可選）0 - 10 sccm to 0 - 25 slm (N2)0 - 10 sccm to 0 - 25 slm (N2)
精度滿量程的+ 0.75% 5    sccm to 10 slm
     滿量程的+ 1.00%    10 slm to 25 slm		滿量程的+ 0.75% 5    sccm to 10 slm
     滿量程的+ 1.00%    10 slm to 25 slm
重復(fù)性滿量程的+ 0.07%滿量程的+ 0.07%
最大工作壓力500 PSIG (可選1000 PSIG)500 PSIG (可選1000 PSIG)
模擬量輸入/輸出 (標(biāo)準(zhǔn))0 - 5 VDC0 - 5 VDC
模擬量輸入/輸出 (可選)4 - 20 mA輸入和輸出,
     0 - 20 mA, 
     0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出		4 - 20 mA輸入和輸出,
     0 - 20 mA, 
     0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出
接口選項Surface Mount, VCR?, VCO?, Swagelok?, 直螺紋Surface Mount, VCR?, VCO?, Swagelok?,直螺紋
電氣連接D型15針D型15針
電源+15 VDC @ 55 mA+15 VDC @ 55 mA
濕液材質(zhì)316L SS, Nickel 200, 302 SS316L SS, Nickel 200, 302 SS, Kalrez? (閥座)